Sök i programutbudet

Använd sökfunktionen för att leta efter kurser och program i Chalmers utbildningsutbud. Den programplan och utbildningsplan som avser dina studier är i allmänhet från det läsår du började dina studier.

​​​​​​​​​​​​​

Kursplan för

Läsår
MKM110 - Mikrosystemteknik  
Microsystems technology
 
Kursplanen fastställd 2015-02-20 av programansvarig (eller motsvarande)
Ägare: MPNAT
7,5 Högskolepoäng
Betygskala: TH - Fem, Fyra, Tre, Underkänd
Utbildningsnivå: Avancerad nivå
Huvudområde: Elektroteknik
Institution: 59 - MIKROTEKNOLOGI OCH NANOVETENSKAP


Undervisningsspråk: Engelska
Sökbar för utbytesstudenter: Ja
Blockschema: C

Modul   Poängfördelning   Tentamensdatum
Lp1 Lp2 Lp3 Lp4 Sommarkurs Ej Lp
0104 Tentamen 7,5 hp Betygskala: TH   7,5 hp   15 Jan 2019 fm SB_MU_DATA   24 Apr 2019 fm SB_MU_DATA   29 Aug 2019 em SB_MU  

I program

MPEES INBYGGDA ELEKTRONIKSYSTEM, MASTERPROGRAM, Årskurs 2 (valbar)
MPNAT NANOTEKNOLOGI, MASTERPROGRAM, Årskurs 2 (valbar)

Examinator:

Per Lundgren


  Gå till kurshemsida

Behörighet:


För kurser på avancerad nivå gäller samma grundläggande och särskilda behörighetskrav som till det kursägande programmet. (När kursen är på avancerad nivå men ägs av ett grundnivåprogram gäller dock tillträdeskrav för avancerad nivå.)
Undantag från tillträdeskraven: Sökande med en programregistrering på ett program där kursen ingår i programplanen undantas från ovan krav.

Kursspecifika förkunskaper

Helst bör deltagare ha en kandidatexamen eller motsvarande inom elektroteknik, teknisk fysik eller maskinteknik. Examinator för kursen kan göra undantag i särskilda fall.

Syfte

Kursens syfte är att tillhandahålla möjlighet för deltagarna att förvärva 
allmänna kunskaper och djupare förståelse för moderna kiselbaserade mikrosensorer,
mikroaktuatorer och mikrosystem.

Lärandemål (efter fullgjord kurs ska studenten kunna)

  • förklara när och varför moderna kiselbaserade mikrosystem är användbara; Examination: skriftlig tentamen
  • beskriva de grundläggande principerna för kiselbaserade mikrosystem; Examination: skriftlig tentamen
  • rita enkla mask-layouter och skissa processplaner för tillverkning (i renrum) av mikrostrukturer och avgöra hur de resulterande strukturerna bör se ut; Examination: skriftlig tentamen
  • beskriva funktionen hos ett brett spektrum av mikrokomponenter; Examination: skriftlig tentamen
  • ta hänsyn till och utvärdera effekterna av miniatyrisering för mikrosystemkomponenters funktionalitet; Examination: skriftlig tentamen
  • diskutera överväganden vid förslag till mikrokomponenters design och tillverkning; Examination: projektmöten, skriftlig tentamen
  • kritiskt granska resultat från elektriska mätningar på mikrostrukturer; Examination: skriftlig tentamen
  • presentera projektresultat på ett vetenskapligt sätt i skriftlig och muntlig form; Examination: projektrapport och presentation

Innehåll

Tekniker för mikrosystemtillverkning
Genomgång av principer för design och tillverkning av mikrostrukturer
Mätteknik
Komponentexempel - tillhandahålls även av gästföreläsare från näringslivet och genom företagsbesök hos producenter av mikromekaniska sensorer
Projektarbete där design, tillverkning och utvärdering av en mikromekanisk sensor demonstreras

Organisation

En föreläsningsserie ges under kursens gång.

Gästföreläsare från industrin beskriver kommersialiserade mikromekaniska sensorer och ger insikt i hur mikrosystem kan kommersialiseras.

Tillverkningsdemonstrationer i vårt renrum, COMSOL-övning, en karakteriseringövning i mätlabbet och besök på ett lokalt företag är obligatoriska moment.

En stor del av studierna är i form ett projektarbete om konceptualisering, utformning och (planerad) tillverkning av en mikrosystemkomponent. En litteraturstudie och projektpresentation (skriftlig och muntlig) ingår också i projektarbetet.

Litteratur

Rekommendationer
Introductory MEMS, Fabrication and Applications, T. M. Adams, R. A. Layton, Springer, ISBN 978-0-387-09510-3

Microsensors MEMS and Smart devices, Julien W. Gardner, Vijay K. Varadan and Osama O Awadelkarim, John Wiley & Sons, ISBN 0-471-86109-X.

Micromachined Transducers Sourcesbook, Gregory T.A. Kovacs, WCB/McGraw-Hill, ISBN 0-07-290722-3

Examination inklusive obligatoriska moment

Kursen består av två delar i form av en föreläsningsserie och ett projektarbete som utförts av grupper på upp till 3 studenter. Slutbetyget för varje elev bestäms utifrån resultaten av en obligatorisk skriftlig tentamen, en skriftlig rapport och muntlig presentation av projektarbetet.

För godkänt måste man ha deltagit i demonstration av tillverkning i renrum, simulering med COMSOL, karakterisering i mätlabb samt studiebesök på företag.


Sidansvarig Publicerad: on 24 jan 2018.